渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。詳細很多朋友對渦輪分子泵應該有些了解，上海旦鼎的小編為大家講解渦輪分子泵的安全使用方法。

　　德國渦輪分子泵是1956年德國人W.Becker發明的一種高速旋轉的機械真空泵。它也是一種大抽速可獲得*高真空的新型分子泵。在各個應用領域中得到了廣泛的應用和普及。1985年以來出現了一種工作壓力范圍更寬的大流量的復合式渦輪分子泵，它可代替擴散泵+羅茨泵或渦輪分子泵+羅茨泵。擴大了渦輪分子泵的使用范圍。在半導體制造設備上用以獲得清潔的高真空。人們對渦輪分子泵的改進倍受重視。不斷出現新型的組合式分子泵。如可直排大氣到高真空的組合泵應用更方便了、占地面積也少了。

　　渦輪分子泵的軸承由有油潤滑的滾動軸承和滑動軸承向*非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發展。轉子的抽氣單元有渦輪葉片、盤式葉片和牽引式螺旋槽結構。而且動、靜葉片間的間隙很小，葉片很長剛性差。由于操作錯誤，突暴大氣到泵中，使葉片損壞，因為受大氣負載和離心力的作用開始彎曲振動，*過動、靜葉片的間隙將會發生葉片相碰損壞事故。因而，高速旋轉的轉子系統遭到破壞時有發生，所以關于渦輪分子泵的安全使用問題，曾引起過渦輪分子泵的設計者和操作者的重視和研究，以使渦輪分子泵順利推廣應用與安全運行。

渦輪分子泵的故障分析:渦輪分子泵的故障是由于機械真空泵的軸承系統，驅動系統以及外因等出現問題時而引起的。下面僅介紹引起轉子葉片和轉子圓筒的破壞的一些情況。

渦輪分子泵損壞的原因:渦輪分子泵損壞的原因可分為設計上的和使用上的兩方面的原因造成的。

設計上的安全措施:在轉子設計時，要進行回轉體整體的應力分析，通過有限單元法計算和電測應力法加以驗證，也有用電鏡進行組織結構觀察。要避免應力集中，氣體負荷的安全率要合理設定。高速回轉體要做精密的動平衡，動平衡取重時要避免裂紋產生，以防腐蝕，疲勞破壞。有時要作*轉數試驗以考核零件強度。

渦輪分子泵使用上的安全對策：

由于渦輪分子泵使用方便，前泵采用干式運行的隔膜泵，使整套CDK設備免維護，干式運行，體積小，重量輕。 自動測量前泵產生的真空壓力并自動啟動分子泵，不需要附加裝置和人為控制，前泵與分子泵的配合*自動化。 配有給容器充氣的充氣開關。  當達到一定的真空壓力后，可選擇自動關閉前泵，以節省電源，增加設備的使用壽命。 采用自動空氣冷卻。 結構特別緊湊，性能可靠，操作特別簡單，只用一個總開關便可開關渦輪分子泵組。因此得到廣泛的應用和普及。但是，高速的回轉體，萬一遭到損壞或發生能量轉換對結構的破壞是難以估量的。所以使用者對此必須要有高度的重視。日本曾提出渦輪分子泵安全使用準則及釋放轉矩測試方法的建議以引起用戶注意。真空泵的用途很廣，使用的條件也多種多樣。如使用的工作壓力，被抽氣體的種類和性質不同時，所要考慮的對策也就不同了。如異物的混入，吸氣口處安裝有保護的金屬網，網孔的大小直接影響泵的抽氣效率。因此，對各種對策要綜合來考慮其效果。

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